氣動執行器大都是在惡劣的環境中進行作業的，比如高溫、高壓、強腐蝕等環境中。這使得氣動執行器出現故障的幾率還是有著一定的增加的。常見的故障有閥體不動作、閥門無法關到零位、氣動執行器無反饋信號、信號壓力不穩定等。還有一些較為特殊的故障，比如氣動執行器控制閥振動。
氣動執行器控制閥振動會造成控制系統無法正常工作，其振動原因主要有以下3個：
1、外來振源，即該設備管道本身就有振動。
2、氣動執行器控制閥的選用不符合選型的要求，比如流量特性不適合、閥口徑偏大、彈簧剛度較差等等，造成控制閥振動。
3、受到流體侵蝕從而產生振動。
處理措施：如果發現是氣動執行器管道本身就有的振動，可以對氣動執行器管道進行清掃重新調整，使其振動消失。如果是氣動執行器控制閥本身問題，可以采用限流孔板去吸收部分壓降，降低節流速度，克服閥振動，且限流孔板還可以改變系統固有的頻率，避免控制閥固有頻率與系統固有頻率相接近而產生振動。
